流水线级的高速光学3D形貌检测

2021-03-20  来源:

对于一些需要时效性与细节兼顾的应用,如太阳能硅片的产品质量检测中,如果采用传统检测方案,即使只检测一块的硅片,也需要花费非常多的时间进行。

  而来自瑞士Lyncee Tec公司的革命性创新产品数字全息显微镜DHM?则是一款在时间和空间极限都能兼顾的显微系统。纵向亚纳米的分辨率和最高1000fps的成像速率,为许多需要兼顾时效和细节的显微与检测系统提供了创新的方案。DHM主要特点:

  1.全视场、非扫描、非接触光学无损测量,可以超高速记录动态三维形貌(即四维形貌);

  2.高吞吐量和对于环境噪声和振动的不敏感;

  3.通用性和可扩展性:可配备多种类型的物镜,如长工作距离物镜、浸入式物镜等,满足不同种类样品的需求,预留后期可升级端口。

  研究可形变样品三维动态响应

  ?表面大区域扫描分析

  高产量常规检测

  生产线在线三维形貌捕捉

  标签:3D显微镜

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